萬級潔凈實驗室主要目的是提供安全、舒適的工作環(huán)境,減少人員暴露在危險空氣下的可能,通風(fēng)主要解決的是工作環(huán)境對實驗人員的身體健康和勞動保護問題。按照通風(fēng)系統(tǒng)作用范圍可分為全面通風(fēng)和局部通風(fēng)。全面通風(fēng)是對整個房間進行通風(fēng)換氣,用送入室內(nèi)的新鮮空氣把房間里的氣體濃度稀釋到衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的允許范圍內(nèi),同時把室內(nèi)污染的空氣直接或經(jīng)過凈化處理后排放到室外大氣中;全面通風(fēng)的效果不僅與全面通風(fēng)量有關(guān),還與通風(fēng)房間的氣流組織有關(guān)。
萬級潔凈實驗室設(shè)計原則:
1、潔凈室入口處設(shè)置風(fēng)淋室,能有效清除人體所帶灰塵,減少潔凈室的灰塵量,同時風(fēng)淋室也起到了氣閘的作用,防止不潔凈空氣由門進入潔凈區(qū)。
2、潔凈室設(shè)紫處燈殺菌裝置。
3、傳遞窗為全不銹鋼材質(zhì),機械聯(lián)鎖控制,內(nèi)帶滅菌裝置。
4、風(fēng)量回風(fēng)次數(shù)采用風(fēng)量調(diào)節(jié)閥對不同要求潔凈級別的區(qū)域進行控制,以及壓強梯度的調(diào)節(jié),保證氣流同“清潔”區(qū)域流向“污染”區(qū)域,潔凈室不同級別之間壓差為≥5pa,潔凈室與室外壓差為≥10pa。
5、本布置緊湊、合理,滿足了實驗室操作和空氣潔凈度等級要求,同時力求科學(xué)性與經(jīng)濟性的原則,考慮實驗室要求和發(fā)展及運行費用。
6、潔凈室需向室內(nèi)供給一定比例的新鮮空氣,凈化過濾后進入各實驗室以補償排風(fēng),保證正壓及工作人員需要。
萬級潔凈實驗室萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的無塵室,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn)。目前有十萬級和三十萬級兩種標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,